小型等离子清洗机的应用：聚碳酸脂较差的脱模性会在从模板上脱下复制片时划伤和阻断数据点。这会导致非均匀性凹坑/凹槽壁，表现在复制片上就是瑕疵。这些不同的瑕疵现象分别叫做斑点、水纹、粘连或幻影，更多是基于外观原因而非盘片的可读性原因，是我们不希望看到的。当使用等离子体技术去除光刻胶时，用户发现可以减少大约70%的这些缺陷，斑点可减少10%，而DVD上的水纹则被消除。这是等离子设备技术的又成功。
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