性能指标 PR02 MR15＆MD30
性能前级泵内置式前级泵外置式及小车
前级泵油式机械泵 DS-42 2 m3/hr（34 l/m）DS-302 14 m3/hr（232 l/m）
涡卷式干泵 N/A TS-620 30 m3/hr（500 l/m）
小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 5×10-12 ATM CC/sec；5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium
测试口耐压 16 mbar，12 Torr，1600 Pa
测试口处对氦气抽速 1.8 l/s
响应时间＜1.0秒
设定点标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点
通讯协议 RS-232通讯借口，9600波特率（9芯窜口）
性能前级泵内置式前级泵外置式及小车
前级泵油式机械泵 DS-42 2 m3/hr（34 l/m）DS-302 14 m3/hr（232 l/m）
涡卷式干泵 N/A TS-620 30 m3/hr（500 l/m）
小可检漏率在1000ppm的氦气背景下 5×10-12 ATM CC/sec；5×10-12 mbar l/s；5×10-13 Pa m3/sec helium
测试口耐压 16 mbar，12 Torr，1600 Pa
测试口处对氦气抽速 1.8 l/s
响应时间＜1.0秒
设定点标准；5个设定点；常开或常闭；3个漏率点；1个压强点；1个声讯点
通讯协议 RS-232通讯借口，9600波特率（9芯窜口）
