TMFC30A质量流量控制器

　　？高度的低流量
　　？快速响应（≦1.0）
　　？宽压力范围（1300　psig）以下
　　？无泄漏
　　？没有所需温度或压力
　　？连接相容
　　？高稳定的移动传感器
　　？耐腐蚀性价值
　　？优异的线性度
　　？优异的长期稳定性
　　？模块化设计
　　？紧凑的流量控制系统
　　型号
　　TMFC30V
　　TMFC30A
　　TMFC50V
　　TMFC50A
　　
　　流量范围（N2）
　　10sccm~30SLM
　　10sccm~30SLM
　　10scc~50SLM
　　10scc~50SLM
　　
　　反应速度
　　≦1.0　sec
　　
　　
　　±1.0%FS
　　
　　重复
　　±0.25%FS
　　
　　耐压
　　1300　PSIG
　　
　　泄漏率
　　1　x　10-9　atm.cc/sec　or　less
　　
　　操作温度
　　0~50℃
　　
　　配件材质
　　本体：SUS316
　　
　　阀体垫片：Vition？（Option　Bura？or　Kalrez？or　Teflon？）
　　
　　接续方式
　　标准：1/4　compression
　　
　　选购：1/8　compression，1/4　VCR？，3/8　Compression，VCR？
　　
　　电气接线
　　Dsub　15-pin　公接头单出线
　　
　　流量讯号输入
　　0~5　Vdc
　　4~20mA
　　0~5　Vdc
　　4~20mA
　　
　　流量讯号输出
　　0~5　Vdc
　　4~20mA
　　0~5　Vdc
　　4~20mA
　　
　　供应电压
　　＋15~28　Vdc/350mA