触摸屏高真空一体化镀膜仪（Q150T）

　　Q150T系列模块化镀膜系统_专为SEM、TEM及薄膜应用设计的高真空溅射和蒸发镀膜仪
　　
　　Q150T系列：涡轮泵高真空镀膜仪，可进行精细颗粒镀膜，适合场发射电镜制样应用以及制作无定形碳覆形膜及TEM栅网支持膜。基于内部安装的涡轮分子泵抽真空平台，Q150T具有三种版本／型号的镀膜仪：溅射、蒸发镀碳和溅射／蒸镀。在运用新科技整体成型的机箱上，设有彩色触摸屏，可允许多用户输入和贮存镀膜方案。在同一个易使用系统中，根据所选择的配置，Q150T可以是一台具水准的离子溅射镀膜仪用于高分辨扫描电镜（SEM）制样，也可以是一台适合SEM或电镜（TEM）应用的蒸发镀碳仪，或者是一台兼具溅射和蒸镀两功能的一体化镀膜仪。Q150T具有快速溅射易氧化和不氧化金属靶材的宽可选范围的能力，使其也成为许多薄膜应用等材料科学领域的一个理想镀膜平台。
　　
　　高真空性能
　　Q150T装在一个坚固的整体成型机壳中，它容纳了工作部件，包括空气冷却的涡轮分子泵。自动进气控制了溅射期间的真空条件。真空腔室带有爆罩。Q150T含有的“真空闭锁”允许在不用设备时维持腔室真空，从而真空性能。
　　
　　Q150T系列三种型号
　　Q150TS：高分辨率磁控离子溅射镀膜仪，可溅射易氧化及不氧化金属（贵金属）。可选各种溅射靶材，包括常用于场发射电镜的铱和铬。
　　Q150TE：高真空热蒸发镀碳仪，可制作高稳定性的碳膜和表面覆形膜，对电镜（TEM）的应用理想。
　　Q150T：了溅射和蒸镀两种沉积镀膜功能的镀膜系统，沉积镀膜头可在数秒内快速更换，智能逻辑系统自动识别出所装的镀膜头类型，并显示相应的操作设置。
　　上述每个型号还可选配一系列可选附件，如：金属蒸镀、碳丝蒸镀、膜厚测量等。
　　
　　触摸屏控制
　　Q150T的操作为简单的触摸屏，即使不熟练的或偶而使用的操作者，仪器也能使其快速键入和贮存自己的处理数据。程序中已贮存了各种典型溅射及蒸发镀膜的参数资料，以便提供进一步的易操作帮助。