离子减薄仪是由华中科技大学材料科学与工程学院专为电子显微镜（TEM）研制的样品制备设备。该设备主要适用于金属、陶瓷及半导体等固体材料的TEM样品的减薄与抛光。
该设备由小角度样品旋转系统（Small incidence angle specimen rotation system，SIASRS）（）、高真空系统（High vacuum system，HVS），高压电源系统（High voltage power system，HVS）、气动快速换样系统（Pneumatic rapid specimen exchanger）（）以及聚焦离子等主要部分组成。
该设备由小角度样品旋转系统（Small incidence angle specimen rotation system，SIASRS）（）、高真空系统（High vacuum system，HVS），高压电源系统（High voltage power system，HVS）、气动快速换样系统（Pneumatic rapid specimen exchanger）（）以及聚焦离子等主要部分组成。
