一、原理说明:
氩气是大规模工业生产单晶硅,手套箱的保护气,它的要求之高,是控制经营成本须重视的一个重要方面。
将排出含有杂质的氩气,除去固体杂质,经缓冲罐进入氩气压缩机升压,,经氩气纯化设备。采用非蒸散型锆铝16吸气剂为净化剂,在温度下,吸气剂可于氩气中的O2、N2、H2、CO、CO2、CH4等等形成稳定的化合物或固溶体,从而对氩气精制的目的。后将净化后的氩气送入使用地点。
二、设备构成:
1、过滤器
2、压缩机
3、氩气纯化
6、电气控制箱
三、技术保障措施;
1、组合式过滤工艺,分级处理。
2、氩气纯化采用结构和装料方法,流速设计合理,气流分布均匀。
3、氩气纯化采用设计的加热构造,加热均匀、稳定。
4、采用优质管件,阀门,避免管道和阀门影响气体质量。
5、采用优质的电器元件和控制仪表,温度稳定,减少温度和影响。
6、氩气纯化的活化程序,严格按照活化程序执行,根据现场实际情况适当调整。
7、对用户的操作员进行设备操作培训,了解设备工作原理,掌握设备操作方法,熟悉设备的开车、停车、停电、停水处理方法。