氨分解制氢纯化装置，温度自动控制。
1、在条件下，将氨进行分解，可以得到含75％H2、25N2的氢氮混合气体：
催化剂
2HN3—3H2＋N2 - Q
△
用此法制得的气体是一种良好的保护气体，可以广泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的工业和科学研究中。
液氨分解来制取保护气体，在工业上是很容易实现的，这是因为：
1）氨易分解：常压，800～850℃在催化剂作用下，氨分解度仍可过99％。
2）气体精制容易：作为液氨纯度是很高的，氨分解后气体只要设法除去比较容易除去的少量水分就能得到精制了。
3）原料液氨容易得到。价格低廉，而且原料消耗也比较少（每公斤液氨可产生2。6M3混合气体。）
2、气体纯化采用分子筛吸附剂进行变温吸附，纯化干燥气体。
本装置为复式流程，用两只吸附干燥器并联，一只工作，同时另一只可以进行再生处理。相互交替工作和再生，以连续运行。干燥器在常温下工作，在加温至250-350℃下冲气再生。
空气压缩机、冷冻干燥机、过滤器
见空气压缩机、冷冻干燥机、过滤器说明书。
变压吸附制氮机
制氮机采用气体分离工艺将空气中的氮气和氧气，采用分离方式制取氮气。
1、CMS（碳分子筛）分离空气
CMS（碳分子筛）是经处理的炭，它的孔径在氮气和氧气分子直径范围内。由于氧分子比氮分子体积小，重量轻，因此先被吸附在碳分子筛表面。大部份氮分子处在游离状态。
2、变压吸附（PSA）
空气压力越高，CMS表面所吸附的气体分子越多。净化后的压缩空气由塔底进入吸附塔，并由下向经整个塔体。
吸附塔内充满了CMS（碳分子筛），气体通过时，氧分子和氮分子在CMS表面吸附，由于分子直径不同，氧分子吸附在CMS表面多于氮分子。根据流经吸附塔空气的速度，大多数氧分子被吸附，氮分子由吸附塔上端流出。流速决定了气体在吸附塔中的吸附时间，即氧分子的吸附时间：流速高，氧吸附时间短，产品气中剩余氧含量高，氮气纯度低。流速低，氧吸附时间长，产品气中剩余氧含量低，氮气。经过一段时间后，CMS被所吸附的氧分子饱和需进行再生，再生是通过降压解吸实现的。由于CMS在低压时吸附气体分子量减少，大多数氧分子在降压时离开CMS处在游离状态。被排空，这一过程称为解吸。
为连续供气，一塔处于吸附生产时，另一塔为再生状态，为再吸附生产准备。整个PSA过程由德国西门子可编程控制器（PLC）、八个电磁阀、控制八个气动阀的开闭，氮分仪在线分析产品氮气中的氮含量，如，氮含量低于规定值99.5％，氮分仪发出灯光报警。由放空截止阀放掉这部份气体。不让不合格气进入下工段。
氮气纯化装置
以空分氮气为原料，通过催化除氧，冷却、分子筛吸附剂进行变温吸附，纯化干燥气体。以及过滤除尘，可以除去氢中杂质氧，水汽和尘埃颗粒等，获得高纯氮气。该装置为复式流程，在一只吸附干燥器工作的同时，另一只吸附干燥器可以进行再生处理。
配气装置
以含氢75％、氮25％的氢氮混合气为原料，通过调节阀调节，加入纯氮气中，获得稳定的具有比例的氢氮混合气。
原氢氮混合气经阀F1，调节阀2调节加入纯氮气中，配比气经混合罐5混合，混合后的配比气经氢分仪分析，显示氢的百分比含量，氢分仪把氢的百分比含量转换成4-20mA的电流信号，智能显示调节仪把氢分仪的电流信号与设定值相比较计算，计算结果转换成4-20mA的电流信号驱动电气转换器，转换成气压信号，调节阀阀芯的行程和气压信号成正比，从而调节混合气体比例的功能。
1、在条件下，将氨进行分解，可以得到含75％H2、25N2的氢氮混合气体：
催化剂
2HN3—3H2＋N2 - Q
△
用此法制得的气体是一种良好的保护气体，可以广泛地应用于半导体工业、冶金工业，以及需要保护气氛的工业和科学研究中。
液氨分解来制取保护气体，在工业上是很容易实现的，这是因为：
1）氨易分解：常压，800～850℃在催化剂作用下，氨分解度仍可过99％。
2）气体精制容易：作为液氨纯度是很高的，氨分解后气体只要设法除去比较容易除去的少量水分就能得到精制了。
3）原料液氨容易得到。价格低廉，而且原料消耗也比较少（每公斤液氨可产生2。6M3混合气体。）
2、气体纯化采用分子筛吸附剂进行变温吸附，纯化干燥气体。
本装置为复式流程，用两只吸附干燥器并联，一只工作，同时另一只可以进行再生处理。相互交替工作和再生，以连续运行。干燥器在常温下工作，在加温至250-350℃下冲气再生。
空气压缩机、冷冻干燥机、过滤器
见空气压缩机、冷冻干燥机、过滤器说明书。
变压吸附制氮机
制氮机采用气体分离工艺将空气中的氮气和氧气，采用分离方式制取氮气。
1、CMS（碳分子筛）分离空气
CMS（碳分子筛）是经处理的炭，它的孔径在氮气和氧气分子直径范围内。由于氧分子比氮分子体积小，重量轻，因此先被吸附在碳分子筛表面。大部份氮分子处在游离状态。
2、变压吸附（PSA）
空气压力越高，CMS表面所吸附的气体分子越多。净化后的压缩空气由塔底进入吸附塔，并由下向经整个塔体。
吸附塔内充满了CMS（碳分子筛），气体通过时，氧分子和氮分子在CMS表面吸附，由于分子直径不同，氧分子吸附在CMS表面多于氮分子。根据流经吸附塔空气的速度，大多数氧分子被吸附，氮分子由吸附塔上端流出。流速决定了气体在吸附塔中的吸附时间，即氧分子的吸附时间：流速高，氧吸附时间短，产品气中剩余氧含量高，氮气纯度低。流速低，氧吸附时间长，产品气中剩余氧含量低，氮气。经过一段时间后，CMS被所吸附的氧分子饱和需进行再生，再生是通过降压解吸实现的。由于CMS在低压时吸附气体分子量减少，大多数氧分子在降压时离开CMS处在游离状态。被排空，这一过程称为解吸。
为连续供气，一塔处于吸附生产时，另一塔为再生状态，为再吸附生产准备。整个PSA过程由德国西门子可编程控制器（PLC）、八个电磁阀、控制八个气动阀的开闭，氮分仪在线分析产品氮气中的氮含量，如，氮含量低于规定值99.5％，氮分仪发出灯光报警。由放空截止阀放掉这部份气体。不让不合格气进入下工段。
氮气纯化装置
以空分氮气为原料，通过催化除氧，冷却、分子筛吸附剂进行变温吸附，纯化干燥气体。以及过滤除尘，可以除去氢中杂质氧，水汽和尘埃颗粒等，获得高纯氮气。该装置为复式流程，在一只吸附干燥器工作的同时，另一只吸附干燥器可以进行再生处理。
配气装置
以含氢75％、氮25％的氢氮混合气为原料，通过调节阀调节，加入纯氮气中，获得稳定的具有比例的氢氮混合气。
原氢氮混合气经阀F1，调节阀2调节加入纯氮气中，配比气经混合罐5混合，混合后的配比气经氢分仪分析，显示氢的百分比含量，氢分仪把氢的百分比含量转换成4-20mA的电流信号，智能显示调节仪把氢分仪的电流信号与设定值相比较计算，计算结果转换成4-20mA的电流信号驱动电气转换器，转换成气压信号，调节阀阀芯的行程和气压信号成正比，从而调节混合气体比例的功能。
