APS150/APS200晶圆探针台:
·载物台尺寸:4英寸、6英寸、8英寸可供选择
·载物台位移:
快速移动(APS150/APS200):150 X 150mm/200 X 200mm
精密调整(APS150/APS200):150 X 150mm/200 X 200mm
·样品台旋转角:0~30度(可选精密调整)
·载物台上/下范围:5mn
·真空吸盘:不锈钢(可选加热吸盘)
·漏电流低于300fA
·显微镜台位移:25mm X 25mm
·显微镜放大倍率:30-2000倍(可由客户指定)
·探针座数量:2-6个
·探针座XY位移:11mm、12mm、25mm可选
·探针座Z位移:8mm、11mm、12mm、16mm可选
·尺寸:(W/D/H)
APS150:580mm X 460mm X 700mm
APS200:660mm X 660mm X 700mm
·重量(APS150/APS200):60kg/80kg
可选配件:
1)低电流、低电容探针/电缆
2)RF探针/电缆
3)不同工作距离和放大倍率光学显微镜
4)变温探针台
5)真空腔
6)环境腔
同时我们可以根据您的具体需求提供比的客制化产品。