URE-2000／17型光刻机
技术特征：
采用多反射镜实现均匀照明；
采用球气浮找平，调平高；
率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供U输出；既满足高对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储；
曝光波长采用纯净365nm，冷光照明（曝光面能量5mW／cm，温度小于35度）；
手动上下版、样片，手动调平；手动分离间隙。
快门可以单独开启，也可以数字设定自动曝光（设定范围0.1s-9999s）；
采用200W（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；
设备外形美观精制，性能；
1、技术参数
曝光面积：100mm
分辨力：1.7mm（胶厚2 mm的正胶）
对准：&plun;1mm
掩模样片整体运动范围：X：6mm；Y：6mm
掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
样片尺寸：直径f15mm--f100mm
厚度0.1mm--6mm（可扩展为15mm）
照明均匀性：&plun;5％（100mm范围）
掩模相对于样片运动行程：X：&plun;5mm；Y：&plun;5mm；q：&plun;6度
汞灯功率：200W（直流）
曝光波长：365nm
曝光能量密度：6mW／cm（420nm以上波长小于0.2mW／cm）
曝光方式：定时（到计时方式）
2、外形尺寸：650mm（长），600mm（宽），900mm（高）
3、配置
（1）曝光头
200W直流高压汞灯（德国欧司朗）
XYZ汞灯调节台
光学系统
冷却风扇
（2）对准工件台
•掩模样片整体运动台
•掩模样片相对运动台
•转动台
•样片调平机构，自动完成
•样片调焦机构，气缸自动调
•承片台3个（ø50mm、ø75mm、ø100mm），掩模夹3个（3寸、4寸、5寸）
•掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
•光源、电源
•双目双视场对准显微镜主体
•目镜3对（10倍、16倍、25倍，共6个）
•物镜3对（5倍、10倍、15倍，共6个）
•CCD（台湾）
•19寸液晶显示器
（4）电控系统
•汞灯触发电源（500W直流汞灯）
•单片机控制系统
•控制机箱
（5）气动系统
•气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
•电磁阀驱动
•气动仪表
（6）其他附件
•真空泵一台
•管道。
技术特征：
采用多反射镜实现均匀照明；
采用球气浮找平，调平高；
率双目双视场显微镜和19英寸宽屏液晶显示同时观察对准过程，并提供U输出；既满足高对准，又可用于检测曝光结果，且曝光结果和方便存储；
曝光波长采用纯净365nm，冷光照明（曝光面能量5mW／cm，温度小于35度）；
手动上下版、样片，手动调平；手动分离间隙。
快门可以单独开启，也可以数字设定自动曝光（设定范围0.1s-9999s）；
采用200W（德国）直流汞灯，可调节光的能量密度；
设备外形美观精制，性能；
1、技术参数
曝光面积：100mm
分辨力：1.7mm（胶厚2 mm的正胶）
对准：&plun;1mm
掩模样片整体运动范围：X：6mm；Y：6mm
掩模尺寸：2.5寸、3寸、4寸、5寸
样片尺寸：直径f15mm--f100mm
厚度0.1mm--6mm（可扩展为15mm）
照明均匀性：&plun;5％（100mm范围）
掩模相对于样片运动行程：X：&plun;5mm；Y：&plun;5mm；q：&plun;6度
汞灯功率：200W（直流）
曝光波长：365nm
曝光能量密度：6mW／cm（420nm以上波长小于0.2mW／cm）
曝光方式：定时（到计时方式）
2、外形尺寸：650mm（长），600mm（宽），900mm（高）
3、配置
（1）曝光头
200W直流高压汞灯（德国欧司朗）
XYZ汞灯调节台
光学系统
冷却风扇
（2）对准工件台
•掩模样片整体运动台
•掩模样片相对运动台
•转动台
•样片调平机构，自动完成
•样片调焦机构，气缸自动调
•承片台3个（ø50mm、ø75mm、ø100mm），掩模夹3个（3寸、4寸、5寸）
•掩模抽拉式上下机构
（3）对准显微镜
•光源、电源
•双目双视场对准显微镜主体
•目镜3对（10倍、16倍、25倍，共6个）
•物镜3对（5倍、10倍、15倍，共6个）
•CCD（台湾）
•19寸液晶显示器
（4）电控系统
•汞灯触发电源（500W直流汞灯）
•单片机控制系统
•控制机箱
（5）气动系统
•气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
•电磁阀驱动
•气动仪表
（6）其他附件
•真空泵一台
•管道。
