探针台 -2

　　总体规格特点
　　重量：50KG（含显微镜）。
　　尺寸：590mm宽＊500mm长＊700mm高（含显微镜）。
　　创见性人机学设计，便于操作工程师长时间舒适操作的操作。
　　
　　显微镜操控规格
　　在探针台右侧有大摇杆，提起90度后，可以使显微镜快速倾仰抬起，方便在测试时更换物镜镜头。
　　显微镜后侧有X／Y轴调节小摇轮，可调节显微镜在x-y方向的移动，移动范围2"X2"，1micron.
　　显微镜Z轴带有调焦粗旋钮和细旋钮，粗旋钮方便快速调焦，细旋钮发便调焦，使显微镜在Z轴方向行程50.8mm，移动1micron.
　　
　　台面规格
　　探针台台面平整度：5µm.
　　探针台左侧有摇杠可以控制台面快速上下升降6mm.在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重选择。
　　探针台右上方有转轮摇杆，摇动时可使台面线性上下升降，升降范围25mm，1micron.在探针台加装探针卡点测wafer时方便对die的重定位。
　　
　　卡盘（载物台）规格
　　6"卡盘，卡盘平整度：5µm，采用真空吸附方式吸附，带真空吸附孔，中心孔径 250微米（可根据客户需求定制孔径大小），小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm，能够吸住尺寸为8"X8"。
　　卡盘可360度旋转，方便点测时样品在X-Y轴向上调平。（根据客户需要可定制为360度旋转，旋转角度可微调，微调为0.1度，带角度锁定旋钮）。
　　卡盘座有小摇杆，提起90度后，可以使卡盘快速线性上升6mm，在做wafer点测时方便快速移动点测位置，同时做普通die或者decap后芯片点测时，方便快速更换样品。
　　卡盘X，Y轴调节旋钮可以控制卡盘做X-Y方向的移动，移动范围为6"X6"，移动为1微米，为方便点测的稳定性，带有锁住功能如果点测6"wafer的时候，可以6"wafer的每一点够点测到。
　　
　　产品特征
　　商标 Perfictlab
　　型号 PL-D6
　　规格 6寸手动探针台
　　产量 500
　　公司名称深圳市展芯科技有限公司