垂直度(前部)达6μm,直线度达4μm.
全/半空气浮动系统可调节气垫高度。
带有基本统计功能,另外,通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连,可实现外部测量数据评估。
高度仪可半自动测量时具有单键操作功能。
通过Digimatic工具实现数据输入。
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86-512-57597075

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