一、主要配置
1、分子泵
2、优成机械泵
3、配置标准漏口
4、放大器
5、采用质谱模块
二、主要技术指标
1、小可检漏率：5×10-12Pa•m3/s
2、漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa•m3/s
3、启动时间：≤5min
4、响应时间：≤1.5s
5、检漏口的压力：1000Pa
6、电源要求：220V，50Hz，单相，10A
7、工作环境：5-35℃
8、相对湿度：≤80%
9、外形尺寸：580（w）×400（D）×870（H）
10、重量：60kg
1、分子泵
2、优成机械泵
3、配置标准漏口
4、放大器
5、采用质谱模块
二、主要技术指标
1、小可检漏率：5×10-12Pa•m3/s
2、漏率显示范围：1×10-3—1×10-12Pa•m3/s
3、启动时间：≤5min
4、响应时间：≤1.5s
5、检漏口的压力：1000Pa
6、电源要求：220V，50Hz，单相，10A
7、工作环境：5-35℃
8、相对湿度：≤80%
9、外形尺寸：580（w）×400（D）×870（H）
10、重量：60kg
