●采用双重循环运动控制,电机在运动时具有的定位性能
●采用本公司开发的嵌入式模块控制机电,了电机响应速度,还
简化了仪器与PC机的接口,PC机与仪器通过U线和S端子线连接
●采用花岗石平台,外观简洁大方
●表面光由四组光源组成,每一组均为恒流源驱动,连续可调
●配有我公司的CNC软件,大大测量效率仪器型号 VMS-3020CNC VMS-4030CNC VMS-5030CNC
金属台尺寸(mm)
玻璃台尺寸(mm)
运动行程(mm)
仪器重量(kg)
外形尺寸(长×宽×高)(mm)500×330
350×280
300×200
140
540×560×850 606×466
450×350
400×300
240
760×600×900 700×450
550×350
500×300
500
970×670×940
X.Y、Z数显分辨率 0.001mm X.Y坐标示值误差≤(3+L/200)µm
电机三轴运动速度 100mm/s 三轴定位 0.001mm
影像系统摄像机日本CCD 变焦物镜倍率 0.7~4.5X
视频总倍率 30~190X 物方视场 10.6~1.66mm
仪器重量
电源
消耗功率 146kg
AC220V/AC110V
∠100W(不包括电脑)
仪器选配件:
仪器配件 1X镜筒(标配)0.5X镜筒(选配)
变焦镜 0.7X~4.5X 0.7X~4.5X
附加镜视频倍率物方视场(mm)视频倍率物方视场(mm)工作距离(mm)
0.5x(选)15X~115X 20~3.2 7.5X~57.5X 40~6.4 175
标配 30X~230X 10.6~1.6 15X~115X 20~3.2 92
2X(选)60X~460X 5~0.8 30X~230X 10~1.6 36