数字式高干涉、测角、分光仪集干涉仪、测角仪和分光计于一体，适用于激光和光学行业、计算机辅助的光机电一体化检测仪器。采用高的CCD相机为接收单元；通过自主版权、包括干涉条纹分析模块、角度计量模块和分光测量模块的计算机软件辅助分析；实现测试过程的全自动和计量等级的测试。
具体性能指标为：
体积：750 x 360x540mm3
重量：50kg
口径：2"
：平面二分之一波长, 球面十分之一波长@532nm
重复度：一波长
测试与ZYGO同一等级。
测角模式：
口径：2”
：0.36角秒
分辨率：0.05角秒
测角范围：+/-20角分
分光计模式：
波长：0.4um-2.3um
折射率：0.00001
软件要求：
操作系统：Windows95/Windows98
主机：Pentium/Pentium II
硬盘：50M
具体性能指标为：
体积：750 x 360x540mm3
重量：50kg
口径：2"
：平面二分之一波长, 球面十分之一波长@532nm
重复度：一波长
测试与ZYGO同一等级。
测角模式：
口径：2”
：0.36角秒
分辨率：0.05角秒
测角范围：+/-20角分
分光计模式：
波长：0.4um-2.3um
折射率：0.00001
软件要求：
操作系统：Windows95/Windows98
主机：Pentium/Pentium II
硬盘：50M
