测量工作台读数装置主要规格
X轴遇到测量范围50nm
Y轴遇到测量范围13nm
测量器分度值：0.01nm
测量台转动范围不限： limit
测量台刻度盘分度范围：0°～360°
测量台刻度盘之分度值：1°
测量台刻度盘游标读数示值：6’
测量：
仪器示值误差：± （4+L/15）μ m
仪器示值误差：包括测量误差和系统误差
注：测量地点温度变化20℃ ±3℃，L--被测件长度
X轴遇到测量范围50nm
Y轴遇到测量范围13nm
测量器分度值：0.01nm
测量台转动范围不限： limit
测量台刻度盘分度范围：0°～360°
测量台刻度盘之分度值：1°
测量台刻度盘游标读数示值：6’
测量：
仪器示值误差：± （4+L/15）μ m
仪器示值误差：包括测量误差和系统误差
注：测量地点温度变化20℃ ±3℃，L--被测件长度
