AS-Solar5000积分球的使用可以避免光谱仪的饱和,它的内表面是的漫反射,具有均匀的空间均匀的空间反射特性,测量可以0.1%。
测量步骤,先收集外部环境光的光强,再将标准片置于积分球的采样口测量存为参考,后将待测样品置于采样口测量,软件会自动计算出反射比R%。
光谱仪:ASspec-UV/VIS高紫外灵敏度光谱仪(200-1100nm)
光源:ASLight-HAL卤钨灯
光纤:FC-UV/VIS 谱段 FC光纤
积分球:ASsphere-50积分球,8度角采样
AS-Solar5000是一款方便实用的绒面抛光面硅片反射率测试仪器,系统使用简单,无需操作人员有的技能用户可以在移动的硅片上进行连续性测量,也可以测量硅片上的固定点。可自动生成测试及数据存储,用户可自定义反射率值,小值门限设置。可自定义测量波长范围,仪器配备标准参考片。
*积分球式整体反射率测量
*反射率波长
*自动生成
*平均反射率测量
*颜色计算。
规格
测量
测量参数反射率光谱/膜厚/颜色
反射率范围 0~100%
波长范围 200~1100 nm
反射率&plun;0.1%
反射率重复性*<0.05%
颜色测量 XYZ
硬件
测量几何积分球(角度反射光的测量)
测量光斑~8 mm
测量速度<1 s/point
硅片大小 156 x 156mm/125 x 125mm
样品台 320 x 320mm
环境温度:15-35°C(50-90°F),
湿度:<90%(non-condensing)
电源 AC 100~240V;50/60 Hz
PC/软件
测量功能整体反射率测量/小反射率波长定位/颜色/膜厚
PC 要求 Windows XP,2GB RAM.