性能特点:
1.SH-200金相显微镜采用无限远色差校正光学系统,图像质量好,分辨率更高,观察更舒适。
2.长工作距离平场消色差物镜,对焦快捷,适用性更广,图像更清晰、像面平坦还原性好。
3.SH-200金相显微镜配备了高眼点平场大视野目镜(视场数22mm)。
4.照明系统配置了透反射照明器,反射采用LED冷光源,观察更柔和舒适,寿命更长。
5.光学系统内置可调节视场光栏、孔径光栏,观察细微组织结构更清晰、衬度更好。
6.照明光路可加入起偏镜和检偏可进行偏光观察。
应用范围:
1.半导体、IC微电路、芯片、LCD液晶、晶圆片
2.金属、矿物试样,表面缺陷。
3.晶体表面纹路。
4.半导体封装检查。
5.透明或不透明工业试样
其他说明
技术规格(标准配置) | ||
目镜 | 大视野WF10X(视场数Φ 22mm) | |
长工作距平 场消色差物镜 |
LWDPlan5X/0.14 工作距离:20.5 mm | |
LWDPlan10X/0.25 工作距离:16.0mm | ||
LWDPlan20X/0.40 工作距离:7.8mm | ||
LWDPlan50X/0.55 工作距离:8.0 mm | ||
目镜筒 | 30? 倾斜, 瞳距调节范围53~75mm. | |
调焦机构 | 粗微动同轴调焦, 带锁紧和限位装置, 微动格值: 1μ m. | |
转换器 | 五孔(内向式滚珠内定位) | |
载物台 | 双层机械移动式载物台, 外形尺寸: 210mmX140mm, 移动范围: 75mmX50mm. | |
照明系统 | 反射照明器 | 低功耗长寿命3W LED灯,亮度可调 |
照明器 | 6V30W卤素灯,亮度可调 |