性能参数
型号 1010C 2010C 2017C 3017C
货号MF-A 176-662* 176-663* 176-664* 176-665*
货号MF-B 176-682* 176-683* 176-684* 176-685*
XY工作台行程范围 100*100mm 200*100mm 200*170mm 300*170mm
Z轴移动范围 150mm 150mm 220mm 220mm
调焦方式 手动调焦（粗调焦：30mm/rev.，微调焦：0.2mm/rev.）
测量方法 线性编码器（2轴型：X/Y轴，3轴型：X/Y/Z轴）
分辩率（可转换） 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm
测量（20℃时） XY轴：（2.5＋0.02L）um，L为无负载测量长度（mm），JI7153
指示（20℃时） Z轴：（5＋0.04L）um，L为测量长度（mm）
XY工作台台面尺寸 280*280mm 350*280mm 410*342mm 510*342mm
载物玻璃尺寸 180*180mm 250*150mm 270*240mm 370*240mm
旋转功能 — — ±5°（左） ±5°（左）
台面承重 10kg 20kg 20kg 20kg
工件高度 150mm 150mm 220mm 220mm
型号 1010C 2010C 2017C 3017C
货号MF-A 176-662* 176-663* 176-664* 176-665*
货号MF-B 176-682* 176-683* 176-684* 176-685*
XY工作台行程范围 100*100mm 200*100mm 200*170mm 300*170mm
Z轴移动范围 150mm 150mm 220mm 220mm
调焦方式 手动调焦（粗调焦：30mm/rev.，微调焦：0.2mm/rev.）
测量方法 线性编码器（2轴型：X/Y轴，3轴型：X/Y/Z轴）
分辩率（可转换） 0.001mm/0.0005mm/0.0001mm
测量（20℃时） XY轴：（2.5＋0.02L）um，L为无负载测量长度（mm），JI7153
指示（20℃时） Z轴：（5＋0.04L）um，L为测量长度（mm）
XY工作台台面尺寸 280*280mm 350*280mm 410*342mm 510*342mm
载物玻璃尺寸 180*180mm 250*150mm 270*240mm 370*240mm
旋转功能 — — ±5°（左） ±5°（左）
台面承重 10kg 20kg 20kg 20kg
工件高度 150mm 150mm 220mm 220mm
