EMS 650/EMS 650T大样品离子溅射镀膜仪

　　又称三靶大样品室离子溅射镀膜仪，EMS 650配套装有直径60mm、厚度0.1mm的金靶（用户可以选择其它材质的靶材）；面板式控制，的人性化设计；溅射参数可预先设置，包括控制排气的电磁阀（自动控制），可以获得的可重复的镀膜厚度；溅射头互锁，EMS 650和EMS 250镀碳配件通用；EMS 650可控制的真空泵。下图示EMS 650.EMS 650T是在EMS 650基础上加装了一个功率为60L/秒的涡轮增压泵，能够获得更高更洁净的真空。
　　
　　性能特征：
　　全自动控制
　　冷却系统（（功率是6W）
　　低电压溅射（100V，DC；每分钟温度升高不到2°C）
　　镀膜厚度（2nm金粒）
　　的可重复性
　　镀膜厚度20nm或200A（扫描电镜）
　　微电子控制
　　三个靶台同时溅射
　　聚碳酸脂外壳
　　
　　仪器参数：
　　
　　仪器尺寸：450mm（W）x 350mm（D）x 175mm（H）
　　工作腔室硼硅酸盐玻璃：225mm（Dia.）x 125mm（H）
　　重量：24Kg
　　靶台：3 x 60mm Dia.x0.1mm 厚
　　旋转样品台：155mm Dia.距离靶台40 to 50mm可调
　　真空范围：ATM＆shy；1x10-2 mbar
　　镀膜电流范围：0-100mA
　　镀膜速率：0-20nm/minute
　　溅射镀膜时间：0-4 minutes
　　电源：230 volts 50Hz（8 AMP 包括泵）
　　维护：氩气＆shy；通常 4 psi
　　真空泵（推荐）整套真空泵软管和油气过滤器135L/Min