EMS 550/EMS 500全自动离子溅射镀膜仪

　　EMS 550具有旋转样品台，可倾斜，种样品。参数可预设，全自动控制获得的镀层厚度。低电压溅射、冷溅射、精细颗粒等功能的使用，大大了工作效率。腔室直径为165 mm（6英寸），方便装载及移走样品。仪器装有60mm直径、0.1mm厚的金靶（可选）。可选靶材包括金/钯，铂/钯和铂。各种功能都集中设计在仪表板上，使用方便，满足不同学科的用户使用要求。溅射参数可预设，包括气体放气针阀（此阀为电磁阀），一旦设置，就不需要再调节。溅射头互锁，系统可选配EMS250镀碳附件。
　　EMS 550本仪器为全自动操作，可控制的真空泵。EMS500是EMS550的手动版本，其样品台不带自动旋转功能，其它参数与EMS550相同。下图为EMS550的外观图片：
　　
　　性能特征：
　　旋转且可倾斜样品台
　　高质量镀层厚度（2nm 金膜）
　　的可重复性能
　　均匀沉积厚度
　　复合样本固定器
　　全自动控制
　　冷却系统，无需冷却样本及样品台
　　低压溅射
　　20nm（或20埃）
　　微电子控制
　　聚碳酸酯壳体
　　仪器参数：
　　
　　仪器尺寸 450mm（W）x 350mm（D）x 175mm（H）
　　工作腔室硼硅酸盐玻璃：165mm（Dia.）x 125mm（H）
　　罩聚碳酸酯
　　重量 18Kg
　　靶材 60 mm 直径 x 0.1mm 厚（金靶为标准靶材）
　　样品台 60mm（Dia.），靶面距在25mm－45mm之间可调
　　真空泵工作范围 ATM-1x10-2 mbar
　　溅射电流 0-50mA
　　溅射镀膜时间 0-4 minutes
　　沉积速率 0-25nm/分
　　电源配置 230 volts 50Hz（6 AMP Max incl pump）