产品参数：
仪器尺寸 585mm（W）x 470mm（D）x 410mm（H）
包装尺寸 725mm W x 660mm D x 680mm H（36.8kg）
工作腔室硼硅酸盐玻璃152mm（内直径）x 127mm H
钟罩聚乙烯对苯二酸，柱形
显示屏彩色液晶320 x 240
用户界面直观的图形界面，触摸键。记忆功能：维护提醒及后十个镀膜方案日志记录
重量 28.4Kg
样品台直径为50 mm的旋转样品台，上有6个样品座，可配15mm，10mm，6.5mm或者3.1mm样本座，转速为8-20rpm
真空泵 Edwards RV3 50L/s两级真空泵，Pirani 真空计
限真空度洁净系统可达 2x10-2 mbar，充氮气
喷镀真空范围 3 x 10-2-5 x 10-1mbar
安培计碳绳：0-60 AMPS，1.4mm＆Oslash；碳棒：1-90 AMPS
提供3个版本的仪器：
EMS150R S–喷金仪/离子溅射仪（适用于真空喷镀非氧化型金属，如金，铂，钯等）EMS150R E–喷碳仪/碳蒸镀仪（适用于真空喷镀碳膜，适用于SEM）
EMS150R –真空镀膜仪（离子溅射仪和碳蒸镀仪的结合体）
仪器尺寸 585mm（W）x 470mm（D）x 410mm（H）
包装尺寸 725mm W x 660mm D x 680mm H（36.8kg）
工作腔室硼硅酸盐玻璃152mm（内直径）x 127mm H
钟罩聚乙烯对苯二酸，柱形
显示屏彩色液晶320 x 240
用户界面直观的图形界面，触摸键。记忆功能：维护提醒及后十个镀膜方案日志记录
重量 28.4Kg
样品台直径为50 mm的旋转样品台，上有6个样品座，可配15mm，10mm，6.5mm或者3.1mm样本座，转速为8-20rpm
真空泵 Edwards RV3 50L/s两级真空泵，Pirani 真空计
限真空度洁净系统可达 2x10-2 mbar，充氮气
喷镀真空范围 3 x 10-2-5 x 10-1mbar
安培计碳绳：0-60 AMPS，1.4mm＆Oslash；碳棒：1-90 AMPS
提供3个版本的仪器：
EMS150R S–喷金仪/离子溅射仪（适用于真空喷镀非氧化型金属，如金，铂，钯等）EMS150R E–喷碳仪/碳蒸镀仪（适用于真空喷镀碳膜，适用于SEM）
EMS150R –真空镀膜仪（离子溅射仪和碳蒸镀仪的结合体）
