重量:50公斤左右
面积:590mmW*500mmD*700mmH
卡盘台X/Y方向的行程是:6英寸*6英寸,
:10微米,均带锁旋钮
卡盘台可以上下快速升降4mm
6英寸的卡盘,中心孔径小可以做到250微米,小可以吸附300 micron x 300micron的单颗芯片
PT200探针座
直线运动,三方向行程:13mm-13mm-13mm
:0.35微米
重量:约1300克
真空吸附
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