气体质量流量控制器

　　设计特点
　　•热式原理
　　•一体化设计
　　•满量程从 5SCCM 到 1000SLPM
　　•响应时间不过 2秒钟
　　•操作压力可达 20MPa
　　•对安装位置不敏感
　　•316SS 材质，允许测量腐蚀性气体
　　•无直管段安装要求
　　•单电源供电

　　技术参数
　　流量范围：从 0-5SCCM 到 0-1000SLPM N 2，具体请参考表一
　　响应时间：1～2秒
　　：&plun;1%满量程（除 204A 型）；
　　&plun;1.5%满量程（204A 型）
　　重复性：&plun;0.2%满量程
　　量程比：50：1（2%-100%满量程）
　　环境和操作温度：-10～70℃
　　操作压力：3000PSIG（20MPa），具体请参考表一
　　点漂移：&plun;0.05%满量程/℃
　　范围漂移：&plun;0.05%读数/℃
　　压力漂移：0.1%/ATM（相对于 N 2）
　　安装方向：对位置不敏感
　　预热时间：10分钟
　　电气连接：卡式（20针）或 D 型（9针）
　　设定点输入流量信号输出：0-5VDC/0-5VDC（小负载电阻 2kΩ）；
　  0-10VDC/0-10VDC（小负载电阻 3kΩ）；
　　1-5VDC/1-5VDC（小负载电阻 2kΩ）；
　　4-20mA/4-20mA（请参考下面的说明）；
　　1-5VDC/4-20mA（请参考下面的说明）
　　对于流量信号输出为 4-20mA 的负载电阻：
　　环路电压为 6.5-15VDC 时：0-450Ω
　　环路电压为 15-30VDC 时：200-750Ω

　　供应电源：
　　电压输出：＋12（&plun;5％）（适用于 0-5VDC 和 1-5VDC 流量信号输出）或＋15（&plun;10％）VDC
　　电流输出：＋15（&plun;5％）或＋24（&plun;15％）VDC
　　电流消耗：＜250mAdc
　　重量：请参考表一