行程：X轴：800 mm
Y轴：1000 mm
Z轴：600 mm
◇结构型式：移动桥式
◇传动方式：直流伺服系统＋预载荷高空气轴承
◇开放式光栅尺
◇机台：高花岗岩平台
◇整机尺寸：1509m m X 2040 m m X 2710m m
◇机台承重：1000 kg ，
整机重量：2000 Kg
◇长度测量允许示值误差：MPEE＝2.5＋L/300
◇允许探测误差（＆＃61549；m）：MPEP＝2.5
Y轴：1000 mm
Z轴：600 mm
◇结构型式：移动桥式
◇传动方式：直流伺服系统＋预载荷高空气轴承
◇开放式光栅尺
◇机台：高花岗岩平台
◇整机尺寸：1509m m X 2040 m m X 2710m m
◇机台承重：1000 kg ，
整机重量：2000 Kg
◇长度测量允许示值误差：MPEE＝2.5＋L/300
◇允许探测误差（＆＃61549；m）：MPEP＝2.5
