·三轴均采用天然黑色花岗岩材料以各轴具有相同的热力学性能。
·预应力空气轴承环抱式设计,与平台集成为一体的Y轴导轨和全封闭的。
·X轴、Z轴结构、不但了机器的震性和机械,而且了机械设备卓越的动态性能和长期的稳定性。
·模块化设计的结构,维护其方便。横梁采用矩形导轨结构,的降低了横梁的弯曲变形所带来的非线性误差,并能够各个空气轴承的对称和匹配性,使其能够在运动中保持良好的性和稳定性。了机器优异的动态特性。横梁的护设计,了空气轴承能够在清洁的环境中运行,大地避免了机器故障的发生。
严格按国际标准(ISO)设计:
按pH10T+TP20设计的距离,了Z轴在突然下降到底端时,测头不会碰到工作台而损坏测头。另外增加的Z轴前端保扩功能,使Z轴在突然断气和通气时不至于下落。大的了机器的性