项目：M3030V型、M3030A
1、流量规格（N2）：10sccm～30slpm
2、准确度：±1％F.S（Full Scale）
3、重复：±0.25％ FS（Full Scale）
4、响应时间：≤3sec（要求：≤1sec）
5、耐压：：95 bar
6、工作环境温度：5℃～65℃
7、输入输出信号：0～5Vdc or4～20mA
8、电源：15-30Vdc，350mA
9、外形尺寸
总长：依进气口、出气口接头规格而定
宽：36mm；高：138mm。
1、流量规格（N2）：10sccm～30slpm
2、准确度：±1％F.S（Full Scale）
3、重复：±0.25％ FS（Full Scale）
4、响应时间：≤3sec（要求：≤1sec）
5、耐压：：95 bar
6、工作环境温度：5℃～65℃
7、输入输出信号：0～5Vdc or4～20mA
8、电源：15-30Vdc，350mA
9、外形尺寸
总长：依进气口、出气口接头规格而定
宽：36mm；高：138mm。
