新一代镀碳仪-EMS150R E型镀碳仪(真空镀膜仪/喷碳仪/蒸镀仪)采用新技术研制而成,彩色触摸液晶屏,快速的参数输入,数种碳丝匹配,友好的用户界面,带给你的操作感受!
产品参数:
仪器尺寸:585mm(W)x 470mm(D)x 410mm(H)
占地尺寸:725mm W x 660mm D x 680mm H(36.8kg)
工作腔室:硼硅酸盐玻璃152mm(内直径)x 127mm H
钟罩:聚乙烯对苯二酸,柱形
显示屏:彩色液晶320 x 240
用户界面:直观的图形界面,触摸键。记忆功能:应维护时间及刚过去的十个喷镀程序
重量:28.4Kg
样品台:直径为50 mm的旋转样品台,上有6个样品座,可配15mm,10mm,6.5mm或者3.1mm样本座
真空泵:Edwards RV3 50L/s两级真空泵,Pirani 真空计
限真空度洁净系统可达:2x10-2 mbar,充氮气
喷镀真空范围:3 x 10-2-5 x 10-1mbar
安培计碳绳:0-60 Amps,1.4mmØ
碳棒:1-90 Amps