压电陶瓷电动机)的运动控制系统具有如下功能和特点:
(1)定位,分辨率可达1μm,10nm:
(2)运动速度平稳,10μm/s,250mm/s:
(3)标准应答时间为50~75μs:
(4)整定时间明显一般伺服电动机,以0.1μm的分辨率为例,1~2ms,为一般伺服电动机的1/10:
(5)定位后没有一般伺服电动机存在的晃动问题:
(6)重量轻,体积小:
(7)行程无限制
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