技术参数:
真空度测量范围:1x10-1-1x10-5
离子电流测量范围:1x10-1-1x10-7
测量误差:<5%测量分辨率:10-5Pa
允许环境温度:下20度~50度
空气湿度:<85%RH
电源:AC220V±50%Hz
外形尺寸:430x300x215(mm)
高压输出:脉冲30KV/50KHz
重量:8kg
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