■空载限真空（气压）1.3-13pa（0.01-0.1托）
高洁净
■材质用304或316L制作，表面磨平抛光。可整机在100级洁净间内使用，而且装有隔墙板，也可部分置于100级洁净间内使用，如图中所示。
低温快干
■溶剂在高真空状态下易气化或升华。
国内
■本系列产品仿制国外同类产品，结合国产配件的特点和标准，精心设计制作，价格为同类产品的十分之一。
参数／单位／产品型号 GGD-600 GGD-1000 GGD-1400
箱内空载气压 Pa 1.3（0.01torr）6.5（0.05torr）13（0.1torr）
热水温度℃≤100
允许热水压力 MPa≤0.7
箱内空间 mm×mm 600×××1400
料盘长×宽×高 mm×mm×mm 600×320×45 630×450×45
料盘放置量只 3 12 32
料盘总面积 m2 0.6 3.4 9.1
占用空间 mm×mm×mm 950×850××1300××1800×2100
总重量 Kg950
高洁净
■材质用304或316L制作，表面磨平抛光。可整机在100级洁净间内使用，而且装有隔墙板，也可部分置于100级洁净间内使用，如图中所示。
低温快干
■溶剂在高真空状态下易气化或升华。
国内
■本系列产品仿制国外同类产品，结合国产配件的特点和标准，精心设计制作，价格为同类产品的十分之一。
参数／单位／产品型号 GGD-600 GGD-1000 GGD-1400
箱内空载气压 Pa 1.3（0.01torr）6.5（0.05torr）13（0.1torr）
热水温度℃≤100
允许热水压力 MPa≤0.7
箱内空间 mm×mm 600×××1400
料盘长×宽×高 mm×mm×mm 600×320×45 630×450×45
料盘放置量只 3 12 32
料盘总面积 m2 0.6 3.4 9.1
占用空间 mm×mm×mm 950×850××1300××1800×2100
总重量 Kg950
