直缐度可达10um
X轴6m Y轴0.5m行程
以缐性滑轨架构之定位平台
良好接地设计杂讯干扰
Z向震动可达奈米等级以下
速度可达5m/s
标准重现1um或以下
位置回馈系统解析度可达50nm
应用
半导体设备
自动化搬送
FPD设备
太阳能制造设备
PCB设备
水刀设备
钻石切割产业
AOI检测设备
工具机
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