圆筒型等离子清洗机

　　圆筒型等离子清洗机/蚀刻机相比其他等离子清洗机的特点：
　　•的设计——使用微波炉产生等离子清洗介质
　　•可去除许多种类的部件和基片上的及多种无机污染物
　　•保持低温的制程（25＆not；-200°C之间可控）
　　•在等离子体的功能和密度方面，可产生比同等价位设备更高的等离子体功率和密度——可以700瓦
　　•不产生废物，消除了废物处理的麻烦——这点跟溶剂清洗不同
　　•易于调节功率等级，可以连续或者非连续调节
　　•易于使用和维护
　　圆筒型等离子清洗/蚀刻机的四种推荐应用：
　　种：不带离子收集器的氩气等离子清洗
　　•基片的环氧粘合剂
　　•打线垫
　　•Pd-AG裸芯片垫
　　•镀金部件
　　•预焊料
　　•环氧树脂去除
　　•焊接预处理
　　•光刻胶去除
　　•氧化金属表面
　　•金线或铝线
　　•去除某些金属氧化物
　　第二种：不带离子收集器的氧气等离子清洗
　　•光刻胶去除
　　•陶瓷基片清洗
　　•故障模型分析中去除塑料密封剂
　　•玻璃部件
　　•镀金部件
　　•技术氧化物部件
　　•砷化镓
　　•硅
　　•碳氟化合物和其它塑料粘合预处理
　　•磷化铟
　　第三种：带离子收集器的氩气等离子清洗
　　•带敏感芯片的器件
　　•激光二管的切面
　　•带助焊剂的陶瓷制品
　　•带助焊剂的PC板
　　第四种：带离子收集器的氧气等离子清洗
　　•提供下游等离子蚀刻器的功能
　　•带光刻机的敏感部件
　　*这些都是建议的应用。具体使用请与你的工艺工程师确认材料的兼容性。
　　**系统包含了相应的调节阀。泵需要订购。
　　***离子收集器形成一个法拉第笼以抵消带电离子并不利微波的情形出现。