TROPEL平坦度检测仪的特色及优点：
•测量原理
-斜角入射干涉
•非接触式检测
-无破坏，无污染，不变形
•准确
-提供测量
•快速反应3～5秒出结果
-允许快速显影，进行工艺监控
-在制造中如出现质量问题，可快速停止操作，不良品的出现
•灵活易操作，检测品无
•快速提供的N次微观计检测
•NIST跟踪系统进行校准和确认反常信号
-在临界处也能检测数据的完整
•多功能用途
-在实验室或车间进行较宽物体的平坦度检测
-扩散表面无问题
-30μm动态范围（定单延伸范围～100μm）
•广泛的应用范围：
-半导体行业——晶圆（Si，SiC，砷化镓，蓝宝石，氮化镓），磁盘，光罩等；
-工业——燃料器（喷油嘴），滚动轴承，离合器，密封件等；
•多种被测物材料
-陶瓷，金属，玻璃，聚合物等
-经研磨，抛光，蚀刻等过程后的部件
•标准测量
-平坦度，谱线轮廓，球面半径等。
•测量原理
-斜角入射干涉
•非接触式检测
-无破坏，无污染，不变形
•准确
-提供测量
•快速反应3～5秒出结果
-允许快速显影，进行工艺监控
-在制造中如出现质量问题，可快速停止操作，不良品的出现
•灵活易操作，检测品无
•快速提供的N次微观计检测
•NIST跟踪系统进行校准和确认反常信号
-在临界处也能检测数据的完整
•多功能用途
-在实验室或车间进行较宽物体的平坦度检测
-扩散表面无问题
-30μm动态范围（定单延伸范围～100μm）
•广泛的应用范围：
-半导体行业——晶圆（Si，SiC，砷化镓，蓝宝石，氮化镓），磁盘，光罩等；
-工业——燃料器（喷油嘴），滚动轴承，离合器，密封件等；
•多种被测物材料
-陶瓷，金属，玻璃，聚合物等
-经研磨，抛光，蚀刻等过程后的部件
•标准测量
-平坦度，谱线轮廓，球面半径等。
