台式等离子清洗机/等离子清洗机
P-2是一款价格低的台式等离子清洗机。该台式等离子清洗系统用于小型生产企业、研发实验室、检测中心、大学实验室;该台式等离子清洗机系统是用于等离子体和表面改性的优异工具。P-2是一款用户界面友好的台式等离子清洗机设备,且清洗效果一致。
台式等离子清洗系统概况
P-2是一款台式等离子清洗系统,具有友好的用户界面、易于使用、并产生一致且可重复性的台式等离子清洗效果。该台式等离子清洗机系统具有自动工艺测序功能。定时(抽真空、等离子产生、气体稳定和泄压)可以很容易地编程到自动工艺顺序中。PLC键盘用于用户输入工艺信息;完整的工艺程序可以被存储起来,用于可重复性的清洗效果。一键操作按钮启动工艺处理序列。该台式等离子清洗机系统以其低廉的价格,稳定的性能成为小型生产企业、研究和开发实验室,检测中心,大学的理想等离子设备。更是等离子体和表面改性的理想台式等离子清洗机系统。
台式等离子清洗机系统主要特点
舱体规格:圆柱形真空室由经久耐用的6061 T6铝焊接而成。尺寸:内径76毫米×127毫米深。
电设置:单套 63.5毫米×102毫米水平式“直接接触式”射频(RF)电,真空舱内净高约32毫米。
射频电源:125瓦@50KHz连续可调射频电源。
工艺气体控制系统:旋转流量计工艺气体控制,0-25cc/min流量范围,精密针形阀。
真空监测:热偶式真空计,真空测量范围0~1托。
控制系统:PLC微机控制系统。键盘式用户界面带有字母-数字显示。可存储自动工艺序列程序。
主机尺寸:35.6厘米(宽)×35.6厘米(深)×46厘米(高),整机重量约25公斤。
适配电源:220VAC.
台式等离子清洗机系统选配件
5 CFM 2级直驱式真空泵,适配氧气(需用kryox泵油)。
第二套旋转流量计,第二套工艺气体控制器,流量范围0-25cc/min,配备精密针形阀。
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