真空镀膜机配置表（PVD1612G）

　　PVD1612G真空镀膜机配置表
　　一、真空机组
　　1、2X70旋片泵（南光）
　　2、RTO300S罗茨泵（萃曼）
　　3、TYFB3600分子泵（泰岳恒）
　　4、阀门：GDZ3X400A高阀（全不锈钢结构），维持阀、前级阀、预抽阀为GDQ100型（全不锈钢结构），DDC80电磁充气阀（上海二阀），旁通阀为罗茨泵内安装阀；
　　5、管道为SUS304不锈钢结构，软连接为波纹管
　　
　　二、罐体
　　1、太钢SUS304不锈钢带水冷套结构，内尺寸1600*1200mm，内壁板厚10mm，外壁板厚5mm；四组式靶筒；上盖布置八对磁控靶孔位，两对一组，共四组，内部四对靶可调间距；罐体两侧布置两个开门，门上各安装四支弧源。
　　2、工件支杆2套，10mm
　　3、内衬板2套
　　4、布气管路
　　5、放气阀加装空气滤清器
　　三、标准件：密封圈，气路部件（二位五通电磁阀为德国BURKERT产品），不锈钢水阀，不锈钢水路接头，不锈钢螺钉，压力表，热电偶，电机，减速机及木箱包装等。
　　四、加热器：编组U型管状36KW，中心水冷法兰安装
　　
　　五、工件转盘：下转盘，24/18工位，自转直径120*180mm，带屏蔽罩。
　　六、磁控靶：16支圆柱磁控靶，70*1020mm，定向溅射，直接冷却，钛靶材（可与平面靶互换）；工件架内外侧各四对，炉体上盖板安装。
　　七、弧源（含电源）钛靶材95，气动引弧；直流逆变弧电源DC160A（深圳瑞菱）
　　八、质量流量计：德国BURKERT8711型，1000SCCM二台，500SCCM二台
　　九、全自动电气控制系统：三菱FX2N系列PLC及WEINVIEW触摸屏、FCS410型气体流量器、HY99401B复合计、FLX12型光栅阀角度控制器、接触器、空开、断路器、继电器、开关按扭、岛电温控表、数字电压表、变频器、电位器、机柜、面板、布线（主要元件选用国外品牌，威德米勒，三菱，施耐德等）
　　十、偏压电源：脉冲逆变PLS30KW（珠海盛普）
　　十一、中频电源：中频逆变MF40KW（珠海盛普/深圳新达）
　　十二、随机备件：密封圈，轴承，油封，工具等。