采用I.CAL*的软件在10-12毫巴。升/秒量级,提供卓越的测量速度和稳定性。
系统软件包括的故障查找的常规自诊断程序。
涡轮分子泵的高抽速与高压缩比,降低和消除氦污染。
中英文介面,操作简单方便。
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