同时还提供半导体设备用RF GENERATOR(射频电源),AUTO MHING NETWORK(匹配单元),举升机,位置伺服控制单元,反应器腔体高压控制模块,MH单元电路板,各类INTERFACE接口模块等维修业务,凭借的美国BRID牌成套测试实验设备,对大多数维修产品都可以进行的模拟测试,大大了单元电路的可用性。目前提供维修服务的主要为ADVANCED ENERGY、APPLIED MATERIALS、MKS(ENI)、LAM REASERCH、Novellus等厂商制造的6、8寸制程设备。
RF GENERATOR射频电源维修,如常用6-8寸机台中的MKS(ENI)、ADVANCED ENERGY、COMDEL、RFPP、TRAZAR、SEREN、PEARL等,频率覆盖自低频90KHZ到高频的400MHZ,已至于微波频段,功率等级自5寸机台中的300W到TFT制程中的大功率RF电源,至30KW.Auto mhing network 射频自动阻匹配单元维修,射频阻自动匹配单元维修,如AM公司的P5000型、AE MN等型号,维修内容包括电容部件的测试维修、驱动及接触部件的更换、轴承部件更换以及控制电路PCB的维修等等。
对于老一代的以控制计算机并基于DOS软件平台的半导体制程工艺设备,提供相关的计算机软硬件升级服务,包括更换而价格昂贵的CPU主板,操作键盘,EL电至发光显示器等部件;软件系统升级到更加方便的WINDOWS系统,并开发更多的程序功能,例如,放弃的工艺文件存储EPROM模块或软盘驱动器,采用新一代电子固态硬盘作为存储部件;开发数据接口,扩展工艺数量。例如BRANSON 去胶机的控制系统。