MYCRO掩膜对准曝光机/光刻系统的曝光方式,是采用可调节压力的接触式曝光,降低了光刻胶对掩模版的污染以及掩模版的磨损,从而掩模版的寿命。因此,MYCRO紫外曝光机/光刻系统以其高的性价比而让人印象深刻。
掩膜对准曝光机/光刻系统的组件主要包含:
紫外光源构造
带托盘的晶片工作台
配CCD镜头的显微镜
器
掩膜夹具
紫外光源透镜
紫外光源镜片
紫外灯电源系统
操作控制器
350W紫外灯
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