无接触式厚度电阻率测量仪(DSI2000)

产品价格：: 电议

产品型号：

供应商等级：: 免企业未认证

经营模式：: 工厂

企业名称：: 上海双尔电子科技有限公司

所属地区：: 上海市

发布时间：: 2014/3/11 17:16:43

86-21-34150813

宁伟先生(联系我时，请说明是在维库仪器仪表网看到的，谢谢)

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上海双尔电子科技有限公司

免企业未认证证营业执照未上传

经营模式：工厂

所在地：上海市

主营产品：仪器仪表

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　　硅片要求
　　规格：
　　方片：125×125mm、156×156mm
　　圆片：3"、4"、5"、6"、8"
　　
　　测量功能
　　厚度：点及多点厚度
　　TTV：总厚度偏差
　　体电阻率：单点及多点电阻率
　　TRV：总体电阻率偏差
　　
　　测量指标
　　厚度：
　　范围：150-1000μm
　　测量误差：≤&plun;1.0μm
　　重复性1σ：≤0.2μm
　　
　　TTV：
　　范围：0.0-200.0μm
　　测量误差：≤&plun;0.50μm
　　重复性1σ：≤0.2μm
　　
　　电阻率：
　　范围：0.1-30Ω。cm
　　测量误差：≤&plun;3.0%*R
　　重复性1σ：≤1.5%*R