纯水（I级水）产水水质*
电阻率 18.2MΩ ＆＃8226； cm＠25°C
TOC （未加装185/254nm UV灯） < 10ppb
TOC （加装185/254nm UV灯） < 5ppb
颗粒物 （粒径>0.22μm）** < 1/ml
微生物** < 1cfu/ml
内毒素*** < 0.001EU/ml
RNA酶*** < 0.003ng/ml
流速** > 0.5L/min （可达42L/hr）
Bisphenol A （双酚A）**** < 0.005ppb
Diethyl phthalate（DEP-）**** < 0.2ppb
Di-n-butyl Phtalate（DP）**** < 0.2ppb
Nonylphenol（NP）**** < 0.1ppb
电阻率 18.2MΩ ＆＃8226； cm＠25°C
TOC （未加装185/254nm UV灯） < 10ppb
TOC （加装185/254nm UV灯） < 5ppb
颗粒物 （粒径>0.22μm）** < 1/ml
微生物** < 1cfu/ml
内毒素*** < 0.001EU/ml
RNA酶*** < 0.003ng/ml
流速** > 0.5L/min （可达42L/hr）
Bisphenol A （双酚A）**** < 0.005ppb
Diethyl phthalate（DEP-）**** < 0.2ppb
Di-n-butyl Phtalate（DP）**** < 0.2ppb
Nonylphenol（NP）**** < 0.1ppb
