罗茨泵是一种无内压缩的真空泵，通常压缩比很低，故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的限真空除取决于泵本身结构和制造外，还取决于前级泵的限真空。为了泵的限真空度，可将罗茨泵串联使用。 罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部分气体返冲到空间v0中去，使气体压强突然增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。罗茨泵在泵腔内，有二个“8”字形的转子相互垂直地安装在一对平行轴上，由传动比为1的一对齿轮带动作彼此反向的同步旋动。在转子之间，转子与泵壳内壁之间，保持有的间隙，可以实现高转速运行。
罗茨泵工作原理性能特点罗茨泵实质上与凸轮泵相同，但转子是罗茨型的。它能输送黏度为数万厘泊的液体。
罗茨泵主要是有两个旋转方向相反的转子位于泵体中，由一对同步齿轮传动。转子与凸轮泵一样，既有双叶的，也有三叶和多叶的。形状种类很多。
对于罗茨泵的转子，在泵体内是互相啮合的，但具有间隙。间隙大小主要取决于液体黏度。过黏度范围须调整间隙。
双叶罗茨泵和三叶罗茨泵的工作原理。其原理与齿轮泵相似，当转子旋转时在与泵体形成的空间内液体沿泵体壳壁从吸入室排送到排出室。当轴每转一周，双叶罗茨泵吸、排各两次，而三叶罗茨泵吸、排各三次。
