主要元器件
1.旋片式真空泵
2.罗茨泵
3.真空计
4.电控系统
性能特点:
1.可检漏率2G/Y
2.节拍:根据工件情况非标设计
3.可检产品尺寸:根据需检产品定制真空系统
4.可实现全自动化进出料
5.氦气可自动充注回收,回收率98%
6.先用N2检测大漏,用氦检检测产品是否合格
7.可集成为压力试验一体化
8.可选择检测漏点。
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