一、ITO镀膜原理
ITO镀膜玻璃是采用浮法玻璃基片经切割,磨边,抛光和清洗后,在真空和高温状况下通过磁控溅射在其表面分别沉积二氧化硅和氧化铟锡透明导电膜,作为液晶显示器件的导电基板。
二、ITO玻璃产品性能
玻璃基片的微观波纹度
厚度/mm 玻璃基片的微观波纹度
抛光浮法玻璃特平浮法玻璃普通浮法玻璃
1.10£0.05µm/20mm£0.10µm/20mm£0.15µm/20mm
0.70£0.08µm/20mm£0.13µm/20mm£0.20µm/20mm
0.55£0.10µm/20mm£0.18µm/20mm£0.25µm/20mm
0.50£0.10µm/20mm£0.18µm/20mm£0.25µm/20mm
0.40£0.20µm/20mm£0.25µm/20mm£0.30µm/20mm
ITO导电膜层的性能规格
规格方电阻(W/œ)透过率(%)蚀刻时间/s 膜厚
150Ω≦150≧87.0≦30 200ű50Å
125Ω≦125≧87.0≦35 200ű50Å
100Ω≦100≧87.0≦40 230ű50Å
80Ω≦80≧86.0≦45 300ű50Å
60Ω≦60≧85.0≦60 350ű50Å
50Ω≦50≧84.0≦65 400ű50Å
40Ω≦40≧82.0≦70 500ű100Å
30Ω≦30≧80.0≦100 650ű100Å
20Ω≦20≧80.0≦140 950ű100Å
15Ω≦15≧85.0≦ű150Å
10Ω≦10≧82.0≦ű200Å
二氧化硅膜厚≧250Å
三、ITO镀膜产品系列
基片尺寸
14″×16″/14″×14″
300×300mm/300×350mm
300×360mm/370×470mm
(其它尺寸可按客户要求调整)
基片厚度
0.4mm~5 mm
四、应用范围
1.LCD行业用各类TN、STN型ITO导电玻璃
2.触摸屏行业用高方阻(200-500Ω/□)ITO玻璃
3.其他各类真空镀膜产品
应用:液晶显示器(LCD)、触摸屏(TP)、电致发光显示器(ELD)、太阳能电池、汽车后视镜、手机MP3镜面屏、各类透明导电膜等。