(1)提供样品表面和内部成分分析,可采用氩离子溅射处理,同时可进行剖面A分析;
(2)固体样品可提供<50oC角度侧倾扫,提供表面2-10nm精细元素分布分析;
(3)可进行微区元素分析;
(4)仪器:0.05eV.应用范围:电子能谱仪主要用于表面的成分分析和表面元素化学状态的分析,
主要使用范围如下:
(1)半导体大规模、规模集成电路的研究;
(2)冶金工业:寻求各种表面处理技术,以获得材料的性能,如性、高硬度,耐腐蚀性等;
(3)固体化学;研究固体的表面吸附,表面反应和表面化学状态;
(4)材料科学:研究材料表面的成分和结构,探索表面性能。