膜厚测量仪采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造了设备系统高性。
膜厚测量仪检测器。X射线检测器主要由光电管和前置放大器组成。光电管 的阴加有高压（通常几百伏）。当X射线光子射到光电管的阴时产生电子，在阴电压的作用下，把阴的每个电子（假设每放大n个电子）增加到d (d为数）个电子，即放大管电流，终到达阳，然后通过前置放大器把管电流放大并转换成电压形式。
膜厚测量仪利用萤光X射线得到物质中的元素信息(组成和镀层厚度)的萤光X射线法原理。和萤光X射线分析装置一样被使用的X射线衍射装置是利用散乱X射线得到物质的结晶信息(构造)。而透过X射线多用于拍摄透视照片。另外也用于机场的货物检查。象这样根据想得到的物质信息而定X射线的种类。
膜厚测量仪X射线的能量穿过金属镀层的同时，金属元素其电子会反射其稳定的能量波谱。通过这样的原理，我们设计出：膜厚测试仪也可称为膜厚测量仪，又称金属涂镀层厚度测量仪，其不同之处为其即是薄膜厚度测试仪，也是薄膜表层金属元素分析仪，因响应工艺准则，故目前市场上普遍使用的都是薄膜X射线荧光镀层测厚仪。
