x荧光膜厚测试仪采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造了设备系统高性。
x荧光膜厚测试仪检测器。X射线检测器主要由光电管和前置放大器组成。光电管 的阴加有高压（通常几百伏）。当X射线光子射到光电管的阴时产生电子，在阴电压的作用下，把阴的每个电子（假设每放大n个电子）增加到d (d为数）个电子，即放大管电流，终到达阳，然后通过前置放大器把管电流放大并转换成电压形式。
x荧光膜厚测试仪x射线的原理是X射线和紫外线与一样是一种电磁波。可视光线的波长为0.000001 m （1μm）左右。
对某物质进行X射线照射时,可以观测到主要以下3种X射线。
（1） 萤光X射线
（2） 散乱X射线
（3） 透过X射线
膜厚测试仪，分为手持式和台式二种，手持式又有磁感应镀层测厚仪，电涡流镀层测厚仪，荧光X射线仪镀层测厚仪。手持式的磁感应原理时，利用从测头经过非铁磁覆层而流入铁磁基体的磁通的大小.来测定覆层厚度。也可以测定与之对应的磁阻的大小，来表示其覆层厚度。
台式的荧光X射线膜厚测试仪，是通过X射线穿透金属元素样品时产生量的光子，俗称为二次荧光，,在通过计算二次荧光的能量来计算厚度值。
