x荧光膜厚仪采用X射线管和高压电源。X射线管装在一个抽真空后注满油的全密封的油箱中缘和良好冷却，高压等级根据所造型号不同有所区别，加上传感器具有的温度自动保护与报警功能，了X射线管的稳定性和使用寿命。模块化设计、免维护设计方案及规范的制造了设备系统高性。
x荧光膜厚仪检测器。X射线检测器主要由光电管和前置放大器组成。光电管 的阴加有高压（通常几百伏）。当X射线光子射到光电管的阴时产生电子，在阴电压的作用下，把阴的每个电子（假设每放大n个电子）增加到d (d为数）个电子，即放大管电流，终到达阳，然后通过前置放大器把管电流放大并转换成电压形式。
x荧光膜厚仪可测元素范围：铝(AL) –铀(U)。
可测量厚度范围：原子序22-25，0.1-0.8μm26-40，0.05-35μm43-52，0.1-100μm72-82，0.05-5μm。
自动测量功能：编程测量，自定测量修正，测量功能。
底材修正：已知样品修正。
定性分析功能：光谱表示，光谱比较。
定量分析功能：合金成份，分析数据。
