X射线检测仪器

　　phoenix　nanome｜x　是分辨率的纳米焦点　X射线检测系统，设计用于检测半导体及SMT行业的的组件和互连。该系统具有的性能和多功能性，可用于二维X射线检测，以及全三维计算机断层扫描（nano　）。有了新的　x｜a　软件包，phoenix　nanome｜x是可选的系统，用以满足目前和未来的缺陷要求。
　　
　　
　　
　　主要功能
　　通过卓越的双向检波器技术（数字图像链与的温度稳定的30帧每秒的数字探测器）获取的清晰的活动影像
　　高放大倍率
　　的操作
　　高度的可再现性
　　180千伏/15　W高功率开放纳米焦点管具有200纳米的细节探测能力
　　可升级到　nanoò
　　可选：
　　x｜a　软件包用于方便快捷的基于CAD的高分辨率自动X射线检测（？AXI），以高的缺陷覆盖率，具有高放大倍率和可再现性
　　通过高动态温度稳定的GE　DXR数字探测器与主动冷却获取的30　FPS（帧每秒）的清晰的活动检测影像
　　10秒内的三维计算机断层扫描
　　通过菱形｜窗口以同样的高图像质量水平进行快达2倍的数据采集
　　顾客利益：
　　组合的二维/三维操作
　　通过卓越的双向检波器技术（数字图像链与的温度稳定的30帧每秒的数字探测器）获取的清晰的活动影像
　　检测步骤的自动化是可能的
　　显著的易用性
　　
　　附件
　　　选项：包括软件　datos｜x、高旋转装置、重建与可视化工作站
　　质量｜检查：用于肉眼观察和人工检查结果的维修站软件来自于自动程序运行，如　bga｜模块，qfp｜模块或　vc｜模块。
　　转换器：软件包转换结果文件，由质量｜或x｜a制作成其他格式，是第三方软件要求的。
　　质量｜分析：用于分析和肉眼观察检查结果的软件包，由自动程序收集，并由质量｜检查检查。
　　菱形｜窗口：以同样的高图像质量水平进行快达2倍的数据采集
　　使用4MP影像链的4"图像增强器：这种高分辨率的4"图像增强器影像链：具有全数字读出和图像处理，是phoenix｜X射线二维系统的基本组成部分。探测器适用于二维实时检测。
　　规格
　　管电压　180千伏
　　功率　15瓦
　　细节检测能力0.2微米
　　小焦物距　0.3毫米
　　体素分辨率（取决于物体大小）<1μm
　　几何放大倍率（2D）1970倍
　　几何放大倍率（3D）<300倍
　　目标尺寸（高　x　直径）680毫米　x　635毫米/27"x　25"
　　物体重量　10千克/22磅
　　图像链　200万像素的数字图像链
　　操作　5轴的样本操作
　　2维X射线成像可以
　　三维计算机断层扫描可以（可选）
　　系统尺寸　1860毫米　x　2020毫米　x　1920毫米/73.2"x　79.5"x　75.6"
　　系统重量　2600千克/5732磅
　　辐射-全柜，按照德国ROV（附件2　nr.3）和美国性能标准21　CFR　1020.40（机柜X射线系统）
　　-辐射泄漏率：<1.0μSv/h从机柜壁的10厘米处测量