项目：M2030V型 M2030A
1、流量规格（N2）：10sccm～30slpm
2、准确度：±1％F.S（Full Scale）
3、重复：±0.25％F.S（Full Scale）
4、响应时间：≤3sec（要求：≤1sec）
5、耐压： 95bar
6、工作环境温度：5℃～65℃
7、输入输出信号：0～5Vdcor4～20mA
8、电源：±15Vdc，350mA
9、外形尺寸
总长：依进气口、出气口接头规格而定
宽：36mm；高：138mm
1、流量规格（N2）：10sccm～30slpm
2、准确度：±1％F.S（Full Scale）
3、重复：±0.25％F.S（Full Scale）
4、响应时间：≤3sec（要求：≤1sec）
5、耐压： 95bar
6、工作环境温度：5℃～65℃
7、输入输出信号：0～5Vdcor4～20mA
8、电源：±15Vdc，350mA
9、外形尺寸
总长：依进气口、出气口接头规格而定
宽：36mm；高：138mm
