其他说明
1 | 规格 | 八路气体控制装置 |
2 | 可选流量规格 | 5sccm~30slm |
3 | 控制准确度 | &plun;1.5%F.S./路 |
4 | 线性 | &plun;(0.5~1.5)%F.S/路。 |
5 | 重复 | &plun;0.2%F.S. |
6 | 工作压差范围 | (0.2~0.4)MPa |
7 | 工作环境温度 | 15℃~35℃ |
8 | 电源 | ~220V&plun;10%50Hz |
9 | 控制方式 | 电磁阀控制 |
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1 | 规格 | 八路气体控制装置 |
2 | 可选流量规格 | 5sccm~30slm |
3 | 控制准确度 | &plun;1.5%F.S./路 |
4 | 线性 | &plun;(0.5~1.5)%F.S/路。 |
5 | 重复 | &plun;0.2%F.S. |
6 | 工作压差范围 | (0.2~0.4)MPa |
7 | 工作环境温度 | 15℃~35℃ |
8 | 电源 | ~220V&plun;10%50Hz |
9 | 控制方式 | 电磁阀控制 |